›› 2017, Vol. 37 ›› Issue (2): 54-60.doi: 10.16708/j.cnki.1000-758X.2017.0034

• 二次电子发射抑制 • 上一篇    下一篇

基于ZnO阵列的银表面二次电子发射抑制技术

 胡天存, 曹猛, 鲍艳, 张永辉, 马建中, 崔万照   

  1. 1西安交通大学电子与信息工程学院电子物理与器件教育部重点实验室,西安710049
    2中国空间技术研究院西安分院空间微波技术重点实验室,西安710100
    3陕西科技大学轻工科学与工程学院,西安710021
  • 收稿日期:2016-08-31 修回日期:2017-02-23 出版日期:2017-04-25 发布日期:2017-03-17
  • 作者简介:胡天存(1983-),男,博士研究生,tchu99@163.com,研究方向为星载微波部件微放电和无源互调效应抑制技术 *通讯作者:崔万照(1975-),男,研究员,cuiwanzhao@163.com,研究方向为空间大功率微波技术
  • 基金资助:

    国家自然科学基金(U1537211);空间微波技术重点实验室基金(9140C530101130C53013,9140C530101140C53231)

TechniqueforinhibitingsecondaryelectronemissionofsilverbasedonZnOarray

 HU  Tian-Cun1,2, CAO  Meng1, BAO  Yan3, ZHANG  Yong-Hui3, MA  Jian-Zhong3, CUI  Wan-Zhao2,*   

  1. 2KeyLaboratoryforPhysicalElectronicsandDevicesoftheMinistryof Education,SchoolofElectronicand〖DW〗InformationEngineering,Xi′anJiaotongUniversity,Xi ′an710049,China
    2NationalKeyLaboratoryofScienceandTechnologyonSpaceMicrowave,ChinaAcademyof SpaceTechnology(Xi′an),Xi′an710100,China
    3CollegeofBioresourcesChemistryandMaterialsEngineering,ShaanxiUniversityofScience&Technology ,Xi′an710021,China
  • Received:2016-08-31 Revised:2017-02-23 Online:2017-04-25 Published:2017-03-17

摘要: 随着卫星有效载荷的射频功率越来越大,传统的微放电抑制方法已经无法满足大功率卫星有效载荷的需求。降低大功率射频部件内表面的二次电子发射系数是抑制微放电效应的重要方法之一,通过在金属银表面构造纳米量级ZnO阵列,实现了纳米尺度银陷阱结构的制备,研究了晶种制备方式、锌盐浓度对ZnO阵列生长的影响。结果表明,采用紫外照射法制备晶种获得的ZnO阵列在样片表面分布均匀,提高锌盐浓度可改善ZnO阵列的分布均匀性。分析了ZnO阵列排列密度对银膜构筑的影响,发现在低密度的ZnO阵列上更加容易镀覆金属银。因此,获得了镀银表面基于ZnO阵列的陷阱结构制备的工艺技术,实现金属银表面二次电子发射系数最大值降低36.3%。

关键词: 微放电, 二次电子发射系数, ZnO阵列, 陷阱结构, 抑制

Abstract: WithsatellitepayloadRFpowerincreasing,traditionalmethodsof inhibitingmultipactorareunabletomeettheneedsofhighpowersatellitepayloads.Reducingthe secondaryelectronemissioncoefficientofinternalsurfaceofhighpowerRFcomponentsisanimpor tantmethodforinhibitingmutipactor.Nanoscalesilvertrappingstructurewaspreparedbyconstructing nanodimensionZnOarrays,  andtheeffectsofpreparingmethodsofseedsandzincsaltconcentration onthegrowthofZnOarrayswerestudied.TheresultsshowthathomogeneousZnOarraysareobtain edonthesamplesurfacebyusingtheUVradiationforseedssynthesizationandincreasingzincsaltconcentration.TheeffectofpackingdensityofZnOarraysonsilverfilmsconstructionwasinvest igated.ItshowsthatlowdensityZnOarraysaresuitablefordepositionofsilveronthesurface ofZnOnanorods.Therefore,  thetechnologyforpreparationoftrapstructuresilverbasedonZnOarray swasobtained,andthemaximumsecondaryelectronemissioncoefficientofsilverdecreasedby36.3% .

Key words: multipactor, secondaryelectronemissioncoefficient, ZnOarrays, trapstructure, inhibition